FFU層流罩之潔淨室亂流式:
空氣由空調箱經風管與潔淨室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔淨室,並由潔淨室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。
優點:構造簡單、係統建造成本,潔淨室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可並用無塵工作台,提高潔淨室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出,易汙染製程產品。另外若係統停止運轉再激活,欲達需求之潔淨度,往往須耗時相當長一段時間。
FFU層流罩之集中式潔淨空調係統是無塵蜜桃无码视频工程的潔淨設備(如加熱器、冷卻器、加濕器、粗中效空氣過濾器、風機等)集中設計在空調機房內,用風管將潔淨空氣送進各個潔淨室。分散式潔淨空調係統是在一般的空調環境或低級別潔淨空調環境中,設置蜜桃无码视频設備或潔淨空調設備(如蜜桃无码视频單元、空氣自淨器、層流罩、潔淨工作台等).在半導體芯片工廠或其他生產過程要求高潔淨度的潔淨廠房中,其潔淨空調係統采用循環空氣方式,其循環方式主要有集中式、隧道式、風機過濾單(FFU)方式和微環境+開放式潔淨室方式等。這些送風方式既可以滿足高潔淨度要求,還可以不同程度地減小能耗。
LED/液晶/線路板製造是一種高度精密化的工業,一些細微的環境或操作變動都有可能影響其製造成品的質量,因此製造過程均要求在嚴格控製下的潔淨室中操作。潔淨室是一個采用層層過濾以去除空氣中微粒存在,並控製室內溫度與濕度於恒定狀態的密閉空間。
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