隨著人們生活質量的提高,對空氣質量也有所要求,無塵蜜桃无码视频工程也大量的開展起來,這當然需要許多設備,因此對無塵室也有一定的要求,那麽,無塵室的分類是怎樣的呢?
1. 亂流式(Turbulent Flow):空氣由空調機箱經風管和潔淨室內的空氣過濾器(HEPA)進入潔淨室,並由潔淨室內的回風柱或高架地板回風。氣流是呈不規則的亂流或渦流狀態。此型式適合於潔淨室等級為:1,000-100,000級。
優點:構造簡單、係統建造成本比較低,潔淨室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所需提高潔淨等級,可結合潔淨工作台來提高潔淨室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出,易汙染製程產品。另外若係統停止運轉再激活,欲達需求的潔淨度,往往須相當長一段時間。
2.層流式(Laminar): 空氣氣流運動成一均勻的直線形,空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內,並由高架地板或兩側回風柱回風,此型式適合於級別比較高的潔淨室,一般其潔淨室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁之回風係統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側汙染較嚴重。優點:構造簡單,運轉後短時間內即可變成穩定。缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔淨度,在製程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
3.複合式(Mixed Type): 複合式為將亂流式及層流式予以複合或並用,可提供局部超潔淨之空氣。(1)潔淨隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI製程大都采用此種型式
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